波長色散X射線熒光光譜儀的精密度測試

更新時間：2016-03-15 點擊次數(shù)：2269

X射線熒光光譜儀,尤其是順序式X射線熒光光譜儀,每一個測量過程都有許多部件在動作,精密度測試即測試這些部件的到位精密度。計量方法:連續(xù)測量20次,每次測量都改變機械設(shè)置條件,包括晶體、計數(shù)器、準直器、2Η角度、濾波片、衰減器和樣品轉(zhuǎn)臺位置等,精密度以相對標準偏差RSD表示,要求RSD≤2.0√N1/2×100%(N為平均累計計數(shù))。波長色散X射線熒光光譜儀在平均累計計數(shù)為1910354時的相對標準偏差為0.09%,精密度限值為0.14%。

在澳大利亞標準中要求對每一個運動部件分別做精密度試驗,為達到0.1%的精密度,要求累計計數(shù)大于106,20次連續(xù)測量的相對標準偏差RSD≤1.5√N1/2×100%。X射線熒光光譜儀的精密度測試情況如下,測量譜線為銅試樣的CuKΑ。

1、不作任何變化的計數(shù)漲落試驗

不作任何變化,重復測量20次,每次測量時間10s。

2、2θ角重現(xiàn)性試驗

在2θ=45.014°測量10s,再在2θ=58.392°測量2s,重復測量20次。

3、準直器重現(xiàn)性試驗

在準直器0.15°的條件下測量10s,再在準直器0.46°的條件下測量2s,重復測量20次。

4、發(fā)生器重現(xiàn)性試驗

在U=20kV,I=10mA的條件下測量10s,再在U=50kV,I=40mA的條件下測量2s,重復測量20次。

5、晶體轉(zhuǎn)換器重現(xiàn)性試驗

用LiF200測量10s,再用LiF220測量2s,重復測量20次。

6、探測器重現(xiàn)性試驗